外周刃切断機

外周刃切断機について

ウェハのダイシング加工や溝入れ加工、パターン切断に最適。

外周にダイヤモンド砥粒をつけた円盤状の砥石を高速に回転させ、製品の切断や溝入れ、ダイシング加工を行います。


機 種 素材寸法 カーフロス 最小切断寸法 切断精度
スライサー 150×150×30H 0.3mm~ 0.5mm ±0.02mm
ダイサー Φ150 0.02mm~ 0.3mm ±0.005mm
加工の特徴
  • 刃を複数枚組み合わせた、マルチカットにも対応可能です。
  • ダイサーは、切削液に純水を使用し、恒温・クリーン環境下での加工となります。顕微鏡による位置合わせと高精度ステージにより、より精密な加工が可能です。
  • 成形砥石による溝入れ加工にも対応します。

外周刃切断機

ダイサー

ダイヤモンドブレード
(マルチタイプ)

ダイシング加工品

溝入れ加工品

溝入れ加工品


その他の切断加工

切断
加工設備
ダイヤモンドバンドソー

最大で1250mm×1000mm×1050mmの大型ワークを、高速・高精度に切断。

マルチブレードソー

遊離砥粒を使用し、ワークへの加工ダメージを最小限に抑えた切断機。

マルチワイヤソー

Φ0.14mm~Φ0.18mmの極細ワイヤにより、材料損失を極限まで抑えた切断機。

大型ワイヤソー

大型素材の切断要求に対応するため、従来機の特徴を生かした大型機を導入

ダイヤモンドワイヤソー

ダイヤモンド砥粒を使用することで、硬質素材にも対応

内周刃切断機

チルチング機構を備え、結晶材料の方位出し切断が可能。

外周刃切断機

ウェハのダイシング加工や溝入れ加工、パターン切断に最適。

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