マルチブレードソー

マルチブレードソーについて

遊離砥粒を使用し、ワークへの加工ダメージを最小限に抑えた切断機。

切断刃として、ブレードソーと呼ばれる帯状バネ鋼板を使用します。このブレードソーを往復運動させながら、ブレードソーとワークの間に加重を加え、切断部に研磨材と油を混合した遊離砥粒を供給して、切断を行います。

切断寸法は、ブレードソーとブレードソーの間に挟みこむスペーサーによって設定します。


素材寸法 カーフロス 最小切断寸法 切断精度 平坦度 チッピング
~Φ50mm 0.17mm~0.25mm 0.3mm ±0.03mm~±0.05mm 0.03mm
以下
0.3mm
以下
~Φ100mm 0.25mm~0.41mm 0.5mm ±0.05mm 0.05mm
以下
0.3mm
以下
~Φ200mm 0.35mm~0.66mm 1.0mm ±0.05mm~±0.1mm 0.08mm
以下
0.3mm
以下
~Φ400mm 0.66mm~0.96mm 1.5mm ±0.1mm~±0.15mm 0.1mm
以下
0.5mm
以下
加工の特徴
  • 最大でΦ400mm(□400mm)×300mmまでのワークが投入可能です。
  • 遊離砥粒によるラッピング切断方式のため、ワークに与えるダメージが少なく、良好な切断面が得られます。
  • 0.1mm~0.8mmの極薄ブレードを使用するため、切断による材料ロスを最小限に抑えることができます。
  • 10μm単位で取り揃えたスペーサーの厚みで切断寸法を調整できるので、どのような寸法にも対応可能です。
  • 1つのインゴットから、異なる板厚寸法の製品を同時に加工することも可能です。

マルチブレードソー

大型機

小型機

ガラス棒切断品

ガラス棒切断品

キューブ加工品


その他の切断加工

切断
加工設備
ダイヤモンドバンドソー

最大で1250mm×1000mm×1050mmの大型ワークを、高速・高精度に切断。

マルチブレードソー

遊離砥粒を使用し、ワークへの加工ダメージを最小限に抑えた切断機。

マルチワイヤソー

Φ0.14mm~Φ0.18mmの極細ワイヤにより、材料損失を極限まで抑えた切断機。

大型ワイヤソー

大型素材の切断要求に対応するため、従来機の特徴を生かした大型機を導入

ダイヤモンドワイヤソー

ダイヤモンド砥粒を使用することで、硬質素材にも対応

内周刃切断機

チルチング機構を備え、結晶材料の方位出し切断が可能。

外周刃切断機

ウェハのダイシング加工や溝入れ加工、パターン切断に最適。

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