研磨加工

研磨加工について

微小サイズ~Φ1600mmまでの鏡面研磨加工が可能です。加工機は両面機と片面機を設備し、枚葉加工にも対応しています。さらに研磨剤は、酸化セリウムとコロイダルシリカの2種を取り揃えているので、石英(ガラス)とシリコンの両方に対応します。また、自動洗浄機~クリーンルームのラインを設備しているので、研磨加工後にワークに異物を付着させることなく、検査・梱包(真空梱包)ができます。

研磨加工

研磨加工の
加工設備
研磨機(両面機・片面機)

最大Φ1600mmまでのワークを鏡面加工。石英(ガラス)とシリコンの両方に対応。

研磨製品(光学ガラス・石英ガラス)

平行・平面板

平行・平面板

角形状製作仕様 丸形状製作仕様
縦寸法 5~300mm 外径寸法 Φ5~600mm
横寸法 5~300mm 厚さ 0.5~50mm
厚さ 0.5~50mm 面精度 ~λ/10
面精度 ~λ/10 外径真円 ~±0.02mm
平行度 ~3′ 平行度 ~3′

ロッドレンズ

ロッドレンズ

製作仕様
外径寸法 Φ2~20mm
外径寸法精度 ±5μm以下
長さ寸法 ~200mm
外径真円度 ±3μm以下
直進度 ±3μm以下

その他

その他

石英パーツ

研磨加工の
加工設備
研磨機(両面機・片面機)

最大Φ1600mmまでのワークを鏡面加工。石英(ガラス)とシリコンの両方に対応。

研磨製品(シリコン)

シリコンパーツ

シリコンパーツ

研磨加工の
加工設備
研磨機(両面機・片面機)

最大Φ1600mmまでのワークを鏡面加工。石英(ガラス)とシリコンの両方に対応。

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